33/02 | . | термообработка (C30B 33/04,C30B 33/06 имеют преимущество) [5] |
33/04 | . | с использованием электрических или магнитных полей или облучения потоком частиц [5] |
33/06 | . | соединение кристаллов [5] |
33/08 | . | травление [5] |
33/10 | . | . | в растворах или расплавах [5] |
33/12 | . | . | в газовой среде или плазме [5] |